PI (Physik Instrumente)NEXLINE線性促動器N-216.101長行程納米定位

NEXLINE線性促動器

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

系列特點：

N-216

§ 力量生成達600牛

§ 保持力達800牛

§ 行程20毫米

§ 帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器 5納米

應用領域

§ 工業級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力 、數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行小步進和推進運動。

型號示例：

N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，300牛，開環

N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，600牛，開環

       N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器 ，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

詢價采購須知：

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漢達森市場部 李銀

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