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半導體行業應用的MLase準分子激光器

發布時間: 2026-06-30  點擊次數: 74次

MLase激光器MLI-ARF 1000LC?


德國MLase AG公司開發的高性能準分子激光器,廣泛應用于工業微加工、半導體制造、醫療設備(如眼科LASIK手術)和科研領域。其核心優勢在于?深紫外波長?(193nm ArF / 248nm KrF)、?高重復頻率?(最高達1000Hz)、?能量穩定性≤2%?,以及采用“冷加工"機制,幾乎不產生熱影響,適合精密加工聚合物、玻璃、陶瓷等熱敏感材料。

主要型號與參數對比

表格
型號波長 (nm)重復頻率 (Hz)穩定脈沖能量 (mJ)冷卻方式應用場景
MLI-500LC / 1000LC193 (ArF) / 248 (KrF)500 / 10006–10水冷半導體刻蝕、醫療OEM
MLI-HP-KrF 500/1000248 (KrF)500 / 100014–20空氣/水冷光纖布拉格光柵刻寫、工業微加工
MLI-200193 / 2482006–10風冷科研、小功率精密加工

核心技術特點

  • ?冷加工機制?:通過光化學效應打斷材料化學鍵,實現微米級甚至納米級加工精度,避免碳化或變形。

  • ?高穩定性設計?:采用全金屬密封激光管、固態電路和恒溫控制,確保長期運行穩定性誤差≤±0.5%。

  • ?模塊化配置?:支持LC(水冷)和HP(高功率)版本,適配連續生產與高負荷需求。


  • 自2007年12月成立以來,MLase一直在開發和生產創新且高質量的激光和照明系統。

  • MLase的獨特之處在于產品可靠性和耐用性,同時對醫療技術的監管和技術要求有深刻理解。


  • 產品系列

    • ?MLI系列?:高性能工業級激光器,如MLI-500LC/1000LC(高重復頻率)、MLI-200(緊湊型)。

    • ?MLI-HP系列?:高功率版本,適用于更嚴苛的工業加工環境。

    • ?核心產品線?:詳細展示其全系列準分子激光器,包括:

    • ?技術參數?:提供各型號的波長(193nm ArF, 248nm KrF)、脈沖能量、重復頻率、穩定性等關鍵規格。

    • ?可選配置?:介紹不同的冷卻方式(風冷、水冷)、能量監控模塊等定制化選項。

  • ?應用領域 (Applications)?

    • ?工業微加工?:聚合物、玻璃、陶瓷的精密鉆孔、切割、表面結構化。

    • ?半導體制造?:光刻、薄膜刻蝕、芯片標記。

    • ?醫療技術?:眼科手術(如LASIK)、醫療器械加工。

    • ?科學研究?:光子學、光譜學、材料研究。

    • ?光纖布拉格光柵 (FBG) 刻寫?:用于傳感器和通信領域。

  • 資質與認證

  • 質量管理體系通過 ?EN ISO 13485:2016? 認證,符合醫療器械生產標準。

  • 產品符合 ?CE、RoHS、CDRH? 等國際法規要求,具備全球市場準入資質。



MLase激光器MLI-ARF 1000LC